ONX®

グリーンツィードのONX® 600はフルオロポリマーをベースとする炭素繊維強化複合材料です。高強度、高純度で、高温環境において強酸性化学物質への耐性を発揮します。

ウェハ洗浄に使用されるONX® 600は、SPM(硫酸/過酸化水素、ピラニア)とSC1(水酸化アンモニウム/過酸化水素)、SC2(塩酸/過酸化水素)、低濃度HF洗浄液への耐性を備えています。

ONX® 600は精密部品に適しており、ウェットプロセス温度は200°C(392°F)まで安定性を保ち、ウェハ外周部に接触するアプリケーションにも十分適用できる純度です。さらに、シリコンはONX® 600より硬いため、ウェハ外周部の損傷と粒子は最小限に抑えられます。また、ONX® 600は導電性がありスピンスプレーによる静電荷を除去し、セミコンダクターデバイスの繊細な特性を保護します。

ONX® 600は他のフルオロポリマー材料を使用した場合と比較し、より高い性能を備え、所有コストを削減します。卓越した機械的性質と一貫した品質により機器能力と信頼性を最大化するため、OEM機器メーカーの複雑な仕様に最適です。

部品サイズは直径20インチまで対応しています。